公益社団法人 日本表面真空学会



産業賞

年度 受賞者 受賞業績
2024年度
住友重機械工業株式会社
アルバック・クライオ株式会社
キヤノンアネルバ株式会社
(法人正会員)
ISO 21360-6 クライオポンプの性能試験方法の発行
2023年度 該当なし
2022年度
株式会社島津製作所
(法人正会員)
ターボ分子ポンプの安全性に関するガイドラインの策定とISO規格化
東京電子株式会社
(法人正会員)
完全封止質量分析法の製品化による車載デバイスの品質保証への貢献
2021年度
株式会社アルバック
(法人正会員)
圧電 MEMS デバイス向け PbZrTiO3 スパッタ量産化技術
2020年度
東京電子株式会社
(法人正会員)
大電力パルススパッタリング法(HiPIMS)用の電源を自社で開発、異常放電を抑制しながら成膜速度を向上
大陽日酸株式会社
(法人正会員)
AlN、GaN などの紫外発光デバイス用および先端デバイス用MOCVD
2019年度
株式会社旭プレシジョン
(法人正会員)
KAGRA光学部品への表面黒化処理の技術開発
株式会社ミラプロ
(法人正会員)
KAGRAにおける大口径長尺超高真空ダクトの製造
  • 産業賞(旧日本表面科学会)
  • 

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